ASML weist Vorwurf zurück, EUV-Lithografiesystem sei nach China gelangt

ASML reagierte mit einer scharfen Zurückweisung und erklärte, „Wir erkennen die Erwägungen zur nationalen Sicherheit an, die den Exportkontrollvorschriften in den USA und den Niederlanden zugrunde liegen, und verpflichten uns uneingeschränkt zur Einhaltung aller geltenden Vorschriften.“ Das Unternehmen betont zudem, es habe „mehrere unbegründete Gerüchte über Verstöße gegen Exportkontrollen in Bezug auf China widerlegt hat, die unrichtig waren und unserem Ruf geschadet haben“. ASML könne „jede Unterbrechung, jedes unnormale Verhalten und jeden Verbindungsverlust“ seiner Anlagen registrieren, erklärte eine Sprecherin. Die Systeme ließen sich zudem ohne Mitwirkung des Herstellers weder betreiben noch versetzen.

ASML weist die Vorwürfe zurück

Nach Angaben von Bloomberg hat ASML nach den Vorwürfen in Washington ein Dokument kursieren lassen, in dem dargelegt wird, warum der Konzern den Standort jedes einzelnen Geräts kennt. Unklar bleibt allerdings, welche konkreten Schritte die US-Regierung von dem Unternehmen verlangt. Bloomberg konnte nach eigenen Angaben nicht ermitteln, was Washington genau von ASML einfordert.

Weltweit sind nach Angaben von ASML derzeit 314 EUV-Systeme im Einsatz. Es handelt sich um tonnenschwere Anlagen, die für die Herstellung modernster Halbleiter benötigt werden. ASML ist der einzige Hersteller weltweit und gehört aufgrund dieser Monopolstellung zu den wertvollsten Unternehmen Europas. Der Konzern hatte zudem erklärt, „ASML erklärte, man habe das Geschäft stets an neue Exportkontrollregeln angepasst.“

Politische Dimension: Gesetzentwurf aus den USA

Der Streit fällt in eine Phase wachsender Spannungen zwischen Washington und Brüssel im Bereich der Chip-Exportkontrollen. Die US-Regierung hatte im April ein Gesetz vorgeschlagen, das von den Verbündeten eine Anpassung an ihre Exportkontrollen verlangt; „In dem Gesetzentwurf wurden Anlagen von ASML namentlich genannt“. „Damit soll Chinas Fähigkeit zur Herstellung moderner Halbleiter eingeschränkt werden“, heißt es in dem Entwurf. Sollte es ASML weiterhin nicht gelingen, die Bedenken Washingtons auszuräumen, könnte dies auch die ohnehin angespannten Beziehungen zwischen den USA und der Europäischen Union weiter belasten, warnte Bloomberg.

Niederlande und die Rolle ehemaliger Ingenieure

Das niederländische Außenministerium teilte mit, „für den Export von Anlagen zur Halbleiterherstellung gebe es klare Regeln“. „Alle Ausrüstungen, Komponenten und Technologien, die ausdrücklich unter diese Regeln fielen, benötigten eine Lizenz.“ Diese Politik werde „sehr streng durchgesetzt“. Angesichts der besonderen Rolle der Niederlande in der Halbleiterindustrie nehme die Regierung ihre Verantwortung ernst.

Zugleich verstärkt sich der Druck auf Peking durch eigene industrielle Fortschritte. „Chinesische Wissenschafter sollen voriges Jahr einen Prototyp einer EUV-Anlage entwickelt haben“, heißt es in den Bloomberg-Recherchen weiter. „An dem Projekt sollen ehemalige ASML-Ingenieure beteiligt gewesen sein.“ Sollte sich dies bestätigen, würde dies nach Einschätzung des Nachrichtenportals einen der „schwersten bekannten Verstöße gegen US-Sanktionen“ darstellen – sofern die Vorwürfe gegen ASML selbst erhärtet würden. Bislang hat weder die US-Regierung Beweise öffentlich gemacht, noch hat ASML formell auf die Details der konkreten Vorwürfe aus Washington reagieren können.

Für ASML ist die Auseinandersetzung existenziell: Als Monopolist bei EUV-Anlagen hängt das Geschäft des Konzerns maßgeblich am Vertrauen westlicher Regierungen. Sollte das Unternehmen die Zweifel nicht ausräumen können, drohen nicht nur bilaterale Konsequenzen, sondern auch eine grundsätzliche Neubewertung der Rolle europäischer Schlüsseltechnologie in der US-Exportkontrollpolitik. Der Konzern selbst spricht von einem „Krisenmodus“ und einem „regelmäßigen, transparenten und offenen Dialog mit Regierungsvertretern“.

Die kommenden Wochen dürften zeigen, ob Washington konkrete Beweise vorlegt oder ob die Vorwürfe, wie von ASML dargestellt, als unbegründet eingestuft werden. Bis dahin bleibt die Causa ein Lackmustest für die Belastbarkeit der transatlantischen Zusammenarbeit in der Chip-Politik.